BS ISO 20341-2003 表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法
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时间:2024-05-12 23:39:36
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【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Methodforestimatingdepthresolutionparameterswithmultipledelta-layerreferencematerials
【原文标准名称】:表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法
【标准号】:BSISO20341-2003
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2003-08-08
【实施或试行日期】:2003-08-08
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:标准材料;溶解;光谱测定法;估计;化学分析和试验;精整;次级离子质谱法
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Dissolution;Estimation;Finishes;Referencematerials;Secondary-ionmassspectrometry;Spectrometry
【摘要】:1ThisInternationalStandardspecifiesproceduresforestimatingthreedepthresolutionparameters,viztheleading-edgedecaylength,thetrailing-edgedecaylengthandtheGaussianbroadening,inSIMSdepthprofilingusingmultipledelta-layerreferencematerials.2ThisInternationalStandardisnotapplicabletodelta-layerswherethechemicalandphysicalstateofthenear-surfaceregion,modifiedbytheincidentprimaryions,isnotinthesteadystate.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法
【标准号】:BSISO20341-2003
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2003-08-08
【实施或试行日期】:2003-08-08
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:标准材料;溶解;光谱测定法;估计;化学分析和试验;精整;次级离子质谱法
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Dissolution;Estimation;Finishes;Referencematerials;Secondary-ionmassspectrometry;Spectrometry
【摘要】:1ThisInternationalStandardspecifiesproceduresforestimatingthreedepthresolutionparameters,viztheleading-edgedecaylength,thetrailing-edgedecaylengthandtheGaussianbroadening,inSIMSdepthprofilingusingmultipledelta-layerreferencematerials.2ThisInternationalStandardisnotapplicabletodelta-layerswherethechemicalandphysicalstateofthenear-surfaceregion,modifiedbytheincidentprimaryions,isnotinthesteadystate.
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语
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